Для цитирования:
Баранов A.М., Подковыров A.A., Андреев А.В. Опыт НИИСИ РАН по разработке подложек для микросхем с перевернутым кристаллом. Труды НИИСИ. 2023;13(3):30-35.
For citation:
Baranov A.M., Podkovyrov A.A., Andreev A.V. Experience of the SRISA RAS in the Development of Substrates for Flip-Chip Technology. SRISA Proceedings. 2023;13(3):30-35. (In Russ.)